一、探針臺主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。
二、特性:
1、OTS-最近的位置對正系統(光學目標對準)OTS通過對照相機相對位置的測量來保證其絕對位置的精度。這是非常引人注目的技術,來源于東京精密的度量技術。OTS實現了以自己為參照的光學對準系統。
2、QPU-高剛性的硅片承載臺(四方型系統)為了有效的達到接觸位置的精度,硅片承載臺各部分的剛性一致是非常重要的,UF3000使用新的4軸機械轉換裝置(QPU),達到高剛性,高穩定度的接觸。
三、縱觀國內外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結構的不同可為兩大類,即:以美國EG公司為代表的平面電機型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以日本及歐洲國家生產的采用精密滾珠絲杠副和直線導軌結構的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結構差別很大,所以其使用維護保養不可一概而論,應區別對待。
四、半自動探針臺特點:
機械手臂取放片
電動、鍵入坐標尋位置
量測尺寸(mm):1800x1600、1300x1200、1200x1000
LCD手動探針臺
白熾燈或者LED整面背光
TFT元件特性、DriverIC量測分析
機臺尺寸(mm):800x600、500x400、300x300