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一、全自動芯片挑片分選機的功能:
(1)挑片應用:wafer to tray
(2)自動上下料,設備按照輸入的Mapping圖及AOI檢查判定產品,自動分揀芯片
二、全自動芯片挑片分選機的特點:
(1)全自動系統、視覺定位系統,直線電機驅動:分揀精度高,速度快
(2)AOI檢查系統,挑片過程中檢查芯片外觀,自動識別形貌
(3)Bond Force Control
(4)支持對三五族,MEMS以及具備空氣橋結構芯片的挑選,支持MPW
(5)提供設備功能、治具定制及服務
三、Options:
(1)2-step sorting:雙分揀裝置,分步挑片
(2)Air Ejector:對應超薄產品,芯片厚度≥20μm
(3)RCID識別功能
項目
| 規格參數 |
wafer尺寸
| 4、6、8inch Option:12inch
|
芯片尺寸 | 0.5x0.5mm~20x20mm Option:0.3x0.3mm
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芯片厚度 | ≥100μm Option:≥20μm
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放置精度 | ≤ ±0.05mm/≤ ±0.5° Option:≤ ±0.025mm
|
分揀速度 | ≤ 1.8s/chip at 2x2mm Die
|
放置區容量 | 4、6、8inch Option:12inch
|
設備尺寸 | 1800(W)x1000(D)x1650(H) mm
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